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本文介绍了一种用于微流体系统的无阀微泵的制作工艺.该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为弹性泵膜,利用硅各向异性腐蚀形成泵体,利用压电双晶片作为驱动部件.该微泵的制作工艺简单,使用寿命长,物理化学性质稳定,具有广阔的应用前景.
一种无阀压电微泵的研究
【摘 要】
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本文介绍了一种用于微流体系统的无阀微泵的制作工艺.该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为弹性泵膜,利用硅各向异性腐蚀形成泵体,利用压电双晶片作为驱动部件.该微泵的制作工
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080
【出 处】
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第三届全国微全分析系统学术会议
【发表日期】
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2005年10期
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