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本文打破传统靠缩短光刻波长提高光刻分辨率的思路,介绍一种利用波长比光刻波长小得多的等离子表面波,可穿过尺度很小的纳米孔和缝传播,实现用一般波长光进行亚波长光刻的物理原理与光刻方案,可大幅度提高超微细图形光学光刻分辨率,并极大节约光刻成本,文中还给出光刻亚波长分辨率图形的部分研究结果.
一种亚波长光刻新技术
【摘 要】
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本文打破传统靠缩短光刻波长提高光刻分辨率的思路,介绍一种利用波长比光刻波长小得多的等离子表面波,可穿过尺度很小的纳米孔和缝传播,实现用一般波长光进行亚波长光刻的物
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209
【出 处】
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2003年十一省(市)光学学术会议
【发表日期】
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2003年10期
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