低气压氩气容性放电中放电参数随时间演化的数值研究

来源 :中国真空学会2016学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gaoq183

【摘要】

：

针对低气压氩气容性放电,基于等离子体流体理论,在漂移扩散近似下建立了等离子体的流体模型.采用有限差分方法数值求解了所建立的模型,编制了相应的程序.数值模拟中,射频频率为 13.56MHz,峰值电压为 100V.通过对数值结果的分析,研究了放电参数诸如离子密度、电子密度、电子温度、电势、电场、等离子体鞘层厚度、电离率、离子电流、电子电流、等离子体电流、电子压强加热、电子欧姆加热、电子加热和电子

【作者】

：

王彦霞刘悦

【机构】

：

大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性教育部重点实验室,辽宁大连,116024

【出处】

：

中国真空学会2016学术年会

【发表日期】

：

2016年5期

【关键词】

：

容性放电等离子体数值模拟

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