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简要介绍了光镊的工作原理及近年来光镊在操纵、驱动双光子光聚合加工出的微机械器件方面的主要应用，并对几种典型光驱动方式进行了比较，最后对利用光镊技术驱动光聚合微机械器件的发展前景做出分析。
光镊技术在驱动三维微器件中的应用
【摘 要】
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简要介绍了光镊的工作原理及近年来光镊在操纵、驱动双光子光聚合加工出的微机械器件方面的主要应用，并对几种典型光驱动方式进行了比较，最后对利用光镊技术驱动光聚合微机械器件的发展前景做出分析。
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥230026
【出 处】
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中国光学学会2004年学术大会
【发表日期】
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2004年10期
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