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本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例,分析影响精度的各种因素,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果.证明应用图像处理技术,对改善二维、三维图像质量,提高检测精度的可行性.
图像处理技术在形貌测量中的应用
【摘 要】
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本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例,分析影响精度的各种因素,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果.证明应用图像处理技术,对改善二维、三维图像
【机 构】
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清华大学精密仪器系(北京)
【出 处】
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中国仪器仪表学会第三届青年学术会议
【发表日期】
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2001年期
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