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扫描探针显微镜与扫描电子显微镜联合原位纳米力学测试功能开发及应用

来源 :第三届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sxtld
【摘 要】
：
本文介绍发展了一种扫描探针显微镜(SPM)与扫面电子显微镜(SEM)联合测试系统,将SPM集成到SEM样品室内,两种仪器有机的结合,实现了仪器功能互补.本文重点介绍了该系统基于SPM
【作 者】
：
吉元 张跃飞 韩晓东 张长辉 毛圣成 张泽 Ralf Heiderhoff 
【机 构】
：
北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京 100124
【出 处】
：
第三届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会
【发表日期】
：
2012年期
【关键词】
：
扫描探针显微镜 扫描电子显微镜 原位 纳米力学测试 功能开发 
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本文介绍发展了一种扫描探针显微镜(SPM)与扫面电子显微镜(SEM)联合测试系统,将SPM集成到SEM样品室内,两种仪器有机的结合,实现了仪器功能互补.本文重点介绍了该系统基于SPM微悬臂梁探针的原位三点弯曲和纳米压痕纳米力学测试方法和技术,该系统成为针对单体纳米材料定量力学性能原位测试与表征,以及纳米力学性能与微观结构相关性研究与表征的综合实验平台.
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