【摘 要】
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该文研究了用无机溶胶凝胶法制备的VO薄膜的XRD结果及其气敏特性。凝胶在400℃下烧结12小时后完全形成了VO晶体。掺3wt℅Pt的VO薄膜在较大范围内对乙醇具有较高的灵敏度。加
【机 构】
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中科院长春光机与物理研究所(长春)
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该文研究了用无机溶胶凝胶法制备的V<,2>O<,5>薄膜的XRD结果及其气敏特性。凝胶在400℃下烧结12小时后完全形成了V<,2>O<,5>晶体。掺3wt℅Pt的V<,2>O<,5>薄膜在较大范围内对乙醇具有较高的灵敏度。加热电压为5.5V时灵敏度达到最大值。该气敏薄膜具有较好的选择性，NH<,3>、H<,2>、CO、CH<,3>COCH<<3>等气体不干扰元件的测量。元件的响应时间为15s，恢复时为5s。
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