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辉光放电光谱仪既能进行体材元素重量百分比定量分析(简称Bulk分析)又能进行表层深度剖面定量分析(简称DPA分析),而DPA分析也能进行体材重量百分比定量分析,对于它们共同能进行的体材重量百分比定量分析来讲,它们是不等价的,其原因是它们的定量分析机理有所不同.本文就其测试原理和过程,从元素发光强度这基本物理量出发并利用标样对各自误差进行分析,给出了元素相对发光强度越小相对误差越大及其最小值的讨论和证明.