【摘 要】
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本文使用WVASE32 型椭偏仪，对Si 基聚合物薄膜的折射率和吸收系数的测量方法进行分析；对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料在波长为1.55μm 时的折射率进行了准确测量，并根据测量结果对聚合物AWG 器件进行了设计，器件通道数为32，工作波长为1.55μm，波长间隔为0.8nm。本文同时探讨了多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜折射率的测量方法。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130031 集成光电子学国
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本文使用WVASE32 型椭偏仪，对Si 基聚合物薄膜的折射率和吸收系数的测量方法进行分析；对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料在波长为1.55μm 时的折射率进行了准确测量，并根据测量结果对聚合物AWG 器件进行了设计，器件通道数为32，工作波长为1.55μm，波长间隔为0.8nm。本文同时探讨了多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜折射率的测量方法。
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