实现1.9微米光荧光发射的亚原子层沉积的超薄间隔层GaAs基InAs量子点结构

来源 :第十一届全国分子束外延学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaozhenying

【摘要】

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本文报导了对含有超薄间隔层的亚原子层InAs量子点光学波长的研究.实验结果表明采用这种量子点矩阵的波长可以超过1.9 μm.具体的制备工艺是生长多个周期的InAs亚原子层,这些

【作者】

：

刘珂马文全黄建亮张艳华曹玉莲黄文军罗帅杨涛

【机构】

：

中国科学院半导体研究所,北京市海淀区清华东路甲35号,100083

【出处】

：

第十一届全国分子束外延学术会议

【发表日期】

：

2015年8期

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本文报导了对含有超薄间隔层的亚原子层InAs量子点光学波长的研究.实验结果表明采用这种量子点矩阵的波长可以超过1.9 μm.具体的制备工艺是生长多个周期的InAs亚原子层,这些InAs亚原子层之间都由超薄的材料间隔开来,这样就在生长方向上构成了亚原子层InAs结构.这种亚原子层阵列可以通过调节InAs亚原子层的厚度来调整波长.

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