【摘 要】
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本文介绍了辉光放电(GD)光谱仪及其激发源的结构、原理及特点，介绍了射频辉光放电与低压电感耦合等离子体(ICP)联用增强激发源的结构、原理。设计的GD-ICP增强光源在200 Pa氩
【出 处】
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2008年国际冶金及材料分析测试学术报告会
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本文介绍了辉光放电(GD)光谱仪及其激发源的结构、原理及特点，介绍了射频辉光放电与低压电感耦合等离子体(ICP)联用增强激发源的结构、原理。设计的GD-ICP增强光源在200 Pa氩气氛围下工作,GD溅射部分用60W/13.56MHz供能,ICP增强部分用300W/13.56MHz供能,实际测试锌合金标样中Al(Ⅰ)-396.1 nm的光谱信号,加ICP增强后的光谱信号强度是仅用GD激发时的2～3倍。
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