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Synthesis of Low Resistivity ITO Films by a Low-pressure Plasma Sputtering
【机 构】
：
Liaoning University of Technology,169 Shiying-jie,Jinzhou-shi,Liaoning,1211001 China
【出 处】
：
The 2nd International Syposium on Innovations in Advanced Ma
【发表日期】
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2008年期
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