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真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔.介绍了真空漏率校准装置的工作原理,技术方案,校准步骤及安全操作事项.
浅谈真空漏率校准装置
【摘 要】
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真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔.介绍了真空漏率校准装置的工作原理,技术方案,校准步骤及安全操作事项.
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所 四川 绵阳621900
【出 处】
：
四川省电子学会、山东电子学会第十七届电子测量与仪器学术年会
【发表日期】
：
2015年期
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