磁控溅射法在有机薄膜衬底上制备ZnO:Al透明导电薄膜

来源 :'98全国材料表面与界面的科学与工程研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Red_Cell

【作者】

：

扬田林张德恒

【机构】

：

大学光电材料与器件研究所(济南)

【出处】

：

'98全国材料表面与界面的科学与工程研讨会

【发表日期】

：

1998年期

【关键词】

：

磁控溅射法有机薄膜衬底

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