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商用电容薄膜真空计存在体积大、重量重等问题,无法满足深空探测中真空测量需求,因此设计了一种具有外形尺寸小、重量轻、工作温度范围宽等特点的小型电容薄膜真空计.本文在已经建立的金属膨胀法真空标准装置上对小型电容薄膜真空计的线性、稳定性、重复性等各项性能进行了实验研究.实验结果表明,小型电容薄膜真空计具有良好的线性,重复性和稳定性均满足计量标准要求.