【摘 要】
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本文用热丝化学气相沉积方法以si(100)为衬底制备了不同掺硼浓度的高掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜进行了检测.扫描电子显微镜观察了不同掺硼浓度对薄膜表面形貌的影响.拉曼光谱分析了金刚石一阶拉曼特征峰1332cm-1随着掺硼浓度的变化以及运用峰位的漂移计算薄膜的内应力.同时还分析了金刚石薄膜拉曼光谱中500cm-1和1220cm-1附近的宽峰随掺硼浓度的变
【机 构】
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大连理工大学 三束材料改性国家重点实验室,辽宁 大连 116024 大连理工大学 物理与光电工程学院,辽宁 大连 116024
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本文用热丝化学气相沉积方法以si(100)为衬底制备了不同掺硼浓度的高掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜进行了检测.扫描电子显微镜观察了不同掺硼浓度对薄膜表面形貌的影响.拉曼光谱分析了金刚石一阶拉曼特征峰1332cm-1随着掺硼浓度的变化以及运用峰位的漂移计算薄膜的内应力.同时还分析了金刚石薄膜拉曼光谱中500cm-1和1220cm-1附近的宽峰随掺硼浓度的变化情况.
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采用溶胶-凝胶法、浸渍提拉的涂膜方法在镀锌铸铁片表面制备TiO2薄膜,并且添加PEG制备PEG/TiO2薄膜,通过SEM、XRD等表征手段,对膜面的均匀程度、粒子大小以及晶型进行研究,通过对低浓度甲基橙溶液的降解研究膜的光催化氧化活性,以及水滴在膜面铺展角度的照片研究制备条件对亲水性大小的影响.
以MgO陶瓷为靶材,采用脉冲激光沉积技术在Si(111)衬底上制备MgO薄膜,重点研究了衬底温度对MgO薄膜结构的影响.利用X射线衍射测试了不同衬底温度下沉积的薄膜物相和结晶度,通过原子力显微镜对其表面形貌进行了观察.结果表明,随着衬底温度的升高,薄膜的结晶性提高.450℃时,得到了物相单一、结晶良好、表面平整光滑、致密且沿(100)方向择优取向生长的MgO薄膜.
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