【摘 要】
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采用溶胶-凝胶旋转涂覆法制备CaMnO3热电薄膜。通过XRD、SEM、Raman对薄膜显微结构进行了表征,并采用PPMS对其热电性能进行了测试。XRD、SEM以及Raman测试结果表明,CaMnO3的
【机 构】
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清华大学 新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,
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采用溶胶-凝胶旋转涂覆法制备CaMnO3热电薄膜。通过XRD、SEM、Raman对薄膜显微结构进行了表征,并采用PPMS对其热电性能进行了测试。XRD、SEM以及Raman测试结果表明,CaMnO3的成相温度高于700℃,并且随着热处理温度升高,晶粒增大。络合剂比例及薄膜厚度对CaMnO3质量影响显著。PPMS测试发现,薄膜热导率随着热处理温度的升高而降低。
Preparation of CaMnO3 thermoelectric thin films by sol - gel spin coating. The microstructure of the films was characterized by XRD, SEM and Raman, and their thermoelectric properties were tested by PPMS. The results of XRD, SEM and Raman test show that the phase transition temperature of CaMnO3 is higher than 700 ℃, and the grain size increases with the increase of heat treatment temperature. The ratio of complexing agent and film thickness have a significant effect on the quality of CaMnO3. The PPMS test found that the thermal conductivity of the film decreases with increasing heat treatment temperature.
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