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纳米印刻技术在未了IC电路和纳米器件制作中有重要的应用前景.本文对纳米印刻技术及其应用研究进行了简要回顾,分析了纳米刻印技术的主要过程以及其中的关键问题,
纳米印刻技术及其应用
【摘 要】
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纳米印刻技术在未了IC电路和纳米器件制作中有重要的应用前景.本文对纳米印刻技术及其应用研究进行了简要回顾,分析了纳米刻印技术的主要过程以及其中的关键问题,
【机 构】
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清华大学微电子学研究所,100084
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2004年期
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