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研究基于自行研制的纯钨材质的大长径比扫描探针,并将其应用于某型号的表面形貌仪,对微流道和复杂微结构的表面形貌进行了精密测量试验,并与利用单晶金刚石探针的测量结果进行对照。研究结果验证了新研制的大长一径比钨探针形貌测量的功能,尤其在高深一宽比复杂表面形貌超精密测量方面的能力。
大长-径比扫描探针在微结构形貌测量中的应用研究
【摘 要】
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研究基于自行研制的纯钨材质的大长径比扫描探针,并将其应用于某型号的表面形貌仪,对微流道和复杂微结构的表面形貌进行了精密测量试验,并与利用单晶金刚石探针的测量结果进
【机 构】
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浙江大学流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027
【出 处】
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第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会
【发表日期】
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2008年期
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