论文部分内容阅读
Applying spectroscopic ellipsometry in flat panel displays
【机 构】
:
J.A.WoollamCo.,Inc,645MStreet,Suite102,Lincoln,NE68508,USA
【出 处】
:
第二届全国偏振与椭偏测量研讨会
【发表日期】
:
2016年11期
其他文献
Measurement configuration optimization in optical scatterometry for subwavelength grating reconstruc
会议
Advanced wide-band-gap oxide materials and optical properties investigated by spectroscopic ellipsom
会议