【摘 要】
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现有游离(固结)磨料多线切割方法仍属于非刚性切割,在切割过程中金属切割线必然变形从而不断对切割硅片产生瞬间的冲击作用;同时,还要兼顾切缝内钢丝的冷却问题,要使目前的大
【出 处】
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第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)
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现有游离(固结)磨料多线切割方法仍属于非刚性切割,在切割过程中金属切割线必然变形从而不断对切割硅片产生瞬间的冲击作用;同时,还要兼顾切缝内钢丝的冷却问题,要使目前的大尺寸硅片厚度进一步降低,并提高硅片切割厚度和控制切割损耗,实现低成本高效切割,技术难度相当大.本项目采用磨削/电解复合方法,在金属切割线对硅锭进行机械磨削的同时,利用现有切削液的弱电导率特性,复合阳极(硅锭)钝化(或腐蚀),进而降低宏观切削力,促进切割效率和表面完整性的提高,为后续制绒创造有利条件.
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