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该文描述了一台电子回旋共振（ＥＣＲ）离子源的设计、结构和应用。为了获得离子源的长寿命、较高的等离子密度以及高效的传输微波功率，他们发现利用合适的三层微波输入窗（石英、Ａｌ〈，２〉Ｏ〈，３〉陶瓷和ＢＮ）是很有效的。采用两个带有磁轭的螺线管线圈能够产生满足共振条件（８７．５ｍＴ）和约束等离子的轴向磁场。利用本源离解ＣＨ〈，４〉－ＮＨ〈，３〉制备成Ｃ：Ｎ膜，经真空退火后，Ｃ：Ｎ膜裂解成不同粗细的团簇纤维。在高倍电子显微镜下观察，纤维呈树状。在５００－６００℃温度下退火，未发现膜有石墨化趋势。