【摘 要】
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利用丝网印刷法制备了约75μm厚的(Pb0.97La0.02)(Zr0.90Sn0.05Ti0.05)O3(PLZST)反铁电厚膜,并研究了固相与有机载体比例、烧结温度等因素对成膜质量的影响.利用XRD分析
【机 构】
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同济大学 功能材料研究所,上海 200092
【出 处】
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第十四届全国电介质物理、材料与应用学术会议
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利用丝网印刷法制备了约75μm厚的(Pb0.97La0.02)(Zr0.90Sn0.05Ti0.05)O3(PLZST)反铁电厚膜,并研究了固相与有机载体比例、烧结温度等因素对成膜质量的影响.利用XRD分析厚膜的物相结构、SEM分析表面形貌并测量厚膜厚度、ε-T曲线测量居里点,介电常数和介电损耗、并研究了烧结后PLZST厚膜的电学性能.实验结果表明：固相与有机载体比例为70：30,烧结温度在1200℃条件下制备出的厚膜,表面平整,无明显气孔.XRD表明单一的立方钙钛矿结构、SEM表明厚膜致密性相对较高.在100HZ下测量电滞回线得到反铁电的双电滞回线,饱和极化值PS≈52μC/cm2,正向开关场EAFE-FE≈120KV/cm,反向开关场EFE-AFE≈50KV/cm.在10KHZ下ε-T曲线显示居里点T≈160℃,介电常数峰值ε≈3500,介电损耗tanδ≈0.05.对电滞回线积分得储能密度ω≈2.5J/cm3.
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