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针对半导体制造工艺参数窗口确定过程中要寻找多个极值点的问题，将小生境微粒群优化算法引入其中，通过构造适当的目标函数并结合工艺控制要求，提出一种参数窗口选择方法。在标准一维和二维多峰函数上的测试结果和实际生产验证结果表明：该算法是一种有效的参数窗口选择方法。
一种基于小生境微粒群算法的参数窗口选择方法
【摘 要】
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针对半导体制造工艺参数窗口确定过程中要寻找多个极值点的问题，将小生境微粒群优化算法引入其中，通过构造适当的目标函数并结合工艺控制要求，提出一种参数窗口选择方法。在标准一维和二维多峰函数上的测试结果和实际生产验证结果表明：该算法是一种有效的参数窗口选择方法。
【机 构】
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同济大学电子与信息工程学院，上海，200092 亚德诺半导体技术(上海)有限公司，上海，200021
【出 处】
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2011年中国智能自动化会议
【发表日期】
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2011年7期
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