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该文简略介绍ＣＧ３０００／２０００型单晶炉控制原理及南数字调节器功能，在对系统输入／输出分析估算，并经实测验证的数据基础上，提出了用欧陆仪改造ＣＧ３０００／２０００单晶炉控制系统的方法，并给出了两种单晶炉的实际接线图以及调试方法。
欧陆数字调节器在CG3000/2000型单晶炉中的应用
【摘 要】
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该文简略介绍ＣＧ３０００／２０００型单晶炉控制原理及南数字调节器功能，在对系统输入／输出分析估算，并经实测验证的数据基础上，提出了用欧陆仪改造ＣＧ３０００／２０００单晶炉控制系统的方法，并给出了两种单晶炉的实际接线
【机 构】
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半导体材料厂、所
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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