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简述了ＳＰＶ法测量少子扩散长度的原理。分析子标准方法与改进方法之间的差别，概述了ＳＰＶ在测量长度方面的进展，特别指扩散长度监测重金属杂质沾污的优点以及必须要完成的基础工作，并介绍有关实例。
SPC法检测硅材料性能的新进展
【摘 要】
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简述了ＳＰＶ法测量少子扩散长度的原理。分析子标准方法与改进方法之间的差别，概述了ＳＰＶ在测量长度方面的进展，特别指扩散长度监测重金属杂质沾污的优点以及必须要完成的基础工作，并介绍
【机 构】
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半导体材料研究所
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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