【摘 要】
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本文採用原位高溫X射線衍射技術,研究了高溫氧化過程中ZrAlN塗層的結構演變過程,同時採用掃描電鏡、拉曼光譜、俄歇電子能譜儀、透射電鏡對位表徵了上述塗層高溫氧化後的組成
【机 构】
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河南大學特種功能材料教育部重點實驗室
【出 处】
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2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
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本文採用原位高溫X射線衍射技術,研究了高溫氧化過程中ZrAlN塗層的結構演變過程,同時採用掃描電鏡、拉曼光譜、俄歇電子能譜儀、透射電鏡對位表徵了上述塗層高溫氧化後的組成結構,研究結果表明:ZrN塗層在氧化時發生t-ZrO2向m-ZrO2馬氏體相轉變,伴隨著5％的體積膨脹,導致了氧化層內有大量裂紋以及孔洞存在,為氧氣內擴散提供了快速通道,導致塗層抗氧化性能的降低.
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