【摘 要】
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人们早就认识到,如果将现有的速调管(一种微波电真空器件)缩尺到微米量级,就可以产生太赫兹(THz)辐射.然而,由于传统加工技术的限制,无法制造出微米量级的谐振腔和微型的能发
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,北京,100080
【出 处】
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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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人们早就认识到,如果将现有的速调管(一种微波电真空器件)缩尺到微米量级,就可以产生太赫兹(THz)辐射.然而,由于传统加工技术的限制,无法制造出微米量级的谐振腔和微型的能发射极高电流密度的阴极,而使THz速调管的研究一直停滞不前.近年来,随着微加工技术的发展,上述两个技术瓶颈已相继得到解决,此项研究又重新被人们所重视,并发展成了一个很热门的研究课题.本文详细地介绍了这种新型的微加工电真空器件--THz速调管的工作原理、THz速调管谐振腔和场致发射碳纳米管冷阴极的微加工方法等.
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