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本文介绍一台全金属超高真空计校准装置.该装置采用直接比对法校准,使用LEYBOLDIE514分离型超高真空规作为标准,测试室采用球形结构,经过严格表面处理及调试获得了1×10-9Pa极限真空,分别对全压真空计及分压真空计进行了校准,取得了初步结果。
超高真空计直接比较校准装置
【摘 要】
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本文介绍一台全金属超高真空计校准装置.该装置采用直接比对法校准,使用LEYBOLDIE514分离型超高真空规作为标准,测试室采用球形结构,经过严格表面处理及调试获得了1×10-
【机 构】
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上海原子核研究所,上海,201800
【出 处】
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上海市真空学会第八届学术年会
【发表日期】
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2002年期
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