【摘 要】
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为了解决漏率小于10-12Pam3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pam3/s量级的校准装置.装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组
【机 构】
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清华大学,北京100084兰州物理研究所,甘肃兰州7300001西安航天计量测试研究所,西安710100
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为了解决漏率小于10-12Pam3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pam3/s量级的校准装置.装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计(QMS)作为比较器测量示漏气体(He气),通过静态累积的方法解决了质谱分析室中示漏气体分压力测量问题;通过激光打孔和多次镀膜的方法获得10-10m3/s量级的分子流导,用消气剂泵将真空室本底压力维持在10-7Pa量级,使磁悬浮转子真空计(SRG)对固定流导元件入口气体(He气)压力的测量下限可达10-4Pa,获得下限为1.3×10-14Pam3/s的标准气体流量(He气).研究结果表明,装置的校准范围为10-12～1.3×10-14Pam3/s(He气),合成标准不确定度为5.2％～5.8％.
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