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本文对比了脱Na工艺前后MoSi<,2>/oxide发热元件使用特性的变化.分析结果表明,通过脱Na处理较好地解决了半导体制品热处理装置中石英玻璃管的失透问题,同时使发热元件的弯曲强度和高温蠕变特性也有了明显改善,从而提高了发热元件的使用寿命.
Na2O对制备半导体用MoSi2/oxide发热元件使用特性的影响
【摘 要】
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本文对比了脱Na工艺前后MoSi/oxide发热元件使用特性的变化.分析结果表明,通过脱Na处理较好地解决了半导体制品热处理装置中石英玻璃管的失透问题,同时使发热元件的弯曲强度
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室(上海)
【出 处】
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第八届全国青年材料科学技术研讨会
【发表日期】
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2001年期
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