【摘 要】
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鉴于微/奈流体技术相关应用精确流体计量日益殷切的需求,工研院量测中心流量研究室在过去数年间投入微流量校正技术的开发,先后完成了微流量量测原级系统以及拟作为工作标准
【机 构】
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工业技术研究院量测技术发展中心,台湾
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鉴于微/奈流体技术相关应用精确流体计量日益殷切的需求,工研院量测中心流量研究室在过去数年间投入微流量校正技术的开发,先后完成了微流量量测原级系统以及拟作为工作标准的气活塞微流校正器。量测系统采用动态起使结束搭配动态称重法来校正微流量计或流体驱动帮浦。校正介质为纯水,流率范围为0.1μL/min～10mL/min(0.1mg/min～10g/min)。系统之量测不确定度在95％信赖水平下,于不同流率范围之相对扩充不确定度介于0.5％～3.0％之间。校正器设计量测范围为10nL/min～1mL/min,其量测原理系为体积式的飞行时间法,其中关键的量测芯片由微流道以及铺设有侦测电极的基板所组装而成,以电极侦测气液界面的移动来决定流率。为提供量测追溯性,电极间的流道体积经由已校正的注射帮浦所提供的标准流率加以修正。
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