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本文系统开展了光学元件超声清洗工艺的实验研究。通过研究超声清洗剂、清洗温度等工艺参数的优化，找到了能够有效祛除元件表面无机污染物和有机污染物的较佳超声清洗工艺，且超声清洗没有对光学元件表面产生损伤，清洗后的光学元件接触角小于6°，并不残留大于1μm的颗粒，超声清洗对光学元件表面污染物的祛除能力远胜于手工清洗。