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我国首根太空砷化镓单晶的表面状况及其他
我国首根太空砷化镓单晶的表面状况及其他
来源 :全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lokenhvj
【摘 要】
:
该文在展示中国首根太空砷化镓单晶外貌的同时介绍了生长容器的结构和温控曲线,并阐述了设计思想。
【作 者】
:
周伯骏
王占国
【机 构】
:
科学院半导体研究所(北京)
【出 处】
:
全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
太空砷化镓单晶
温控曲线
设计思想
中国
容器
结构
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该文在展示中国首根太空砷化镓单晶外貌的同时介绍了生长容器的结构和温控曲线,并阐述了设计思想。
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