【摘 要】
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传统的传感器与外界通信的主要方式是通过电引线对信号进行传输,但是,这种交互方式无法适应高温、高压等极端恶劣环境.恶劣环境会极大影响到外联引线的稳定性,最终大大降低器件的可靠性,甚至使器件失效.LC谐振式传感器可以很好的解决上述问题,它实质是一个由对压力、温度等参数敏感的电容和电感构成的谐振电路,其主要特点是无需外联引线,LC谐振电路中的电感线圈耦合测试环境中检测电感线圈的磁场能,然后转化为自身的电
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原 030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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传统的传感器与外界通信的主要方式是通过电引线对信号进行传输,但是,这种交互方式无法适应高温、高压等极端恶劣环境.恶劣环境会极大影响到外联引线的稳定性,最终大大降低器件的可靠性,甚至使器件失效.LC谐振式传感器可以很好的解决上述问题,它实质是一个由对压力、温度等参数敏感的电容和电感构成的谐振电路,其主要特点是无需外联引线,LC谐振电路中的电感线圈耦合测试环境中检测电感线圈的磁场能,然后转化为自身的电场能供传感器工作,并且把谐振频率变化信号反馈到检测电感线圈上.通过谐振频率的变化就可以得出压力、温度等参数的大小.
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