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该文对力平衡式加速度传感器的检测电容的非线性进行了分析，并从电路设计和结构设计上考虑进行补偿。
微硅扭摆式加速度计检测信号非线性分析
【摘 要】
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该文对力平衡式加速度传感器的检测电容的非线性进行了分析，并从电路设计和结构设计上考虑进行补偿。
【机 构】
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大学电子工程系(江苏)
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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