【摘 要】
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真空镀膜机是在真空条件下制备薄膜于基体表面的设备.论述了真空镀膜机的发展趋势和总体构成.结合镀膜工艺流程,对电气控制系统软、硬件结构进行了论证分析和相应的设计.同时
【机 构】
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西南交通大学电气工程学院,成都,610031
【出 处】
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第十九届全国测控、计量、仪器仪表学术年会
论文部分内容阅读
真空镀膜机是在真空条件下制备薄膜于基体表面的设备.论述了真空镀膜机的发展趋势和总体构成.结合镀膜工艺流程,对电气控制系统软、硬件结构进行了论证分析和相应的设计.同时介绍了PLC的选型,最终实现了以欧姆龙PLC为核心的现代真空镀膜机控制系统.该电气控制系统具有手动/自动控制、故障报警等功能.系统经过了实验室和现场的两步调试,解决了潜在问题.最终生产实践证实了该系统的可行性,实现了工艺要求,满足了客户需求.
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