【摘 要】
：
高功率脉冲磁控溅射技术被提出以来就受到业界广泛关注,其较高的溅射材料离化率结合适当的电磁控制,可产生高致密度、高结合力和高综合性能的涂层,但其沉积速率低、放电不稳
【机 构】
：
北京大学深圳研究生院新材料学院深圳市518055香港城市大学物理与材料科学系,香港九龙
【出 处】
：
珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会
论文部分内容阅读
高功率脉冲磁控溅射技术被提出以来就受到业界广泛关注,其较高的溅射材料离化率结合适当的电磁控制,可产生高致密度、高结合力和高综合性能的涂层,但其沉积速率低、放电不稳定、溅射材料离化率差异较大,本文设计了一种筒形溅射源,通过对结构的设计优化,利用类空心阴极放电效应,使问题得到解决.然而其靶面切向磁场不均匀,电子逃逸严重,进而造成等离子体密度偏低,且放电不均匀.本文通过对其放电和等离子体分布进行仿真,提出电场阻挡和磁铁补偿两种方案,研究了不同电场控制条件下的放电行为和等离子体分布.结果表明,增加电子阻挡屏极可以生成势阱,从而有效抑制电子从边缘的逸出;优化后的磁铁补偿可以显著提高靶面横向磁场的均匀性及靶面利用率.两种方案同时作用时,HiPIMS放电刻蚀环面积更大、且更加均匀.
其他文献
变频器在国内已经得到广泛的应用,电动机变频调速已经成为节能的代名词,然而变频并不是万能的,有些负荷采用变频调速是起不到节能效果的.该文以离心泵为例,对电动机的输入功
简述了原子经济性原理，介绍了国内煤制油情况，分析了煤制油工艺及性质特点，以及煤制油与石油炼制的互补优化。
对自控专业的SP3D软件三维模型的建库进行了探讨,并重点介绍了自控专业槽板、电缆、穿线管、自控设备三维模型的建模过程.经过三维模型的建立与测试,验证了建立的三维模型是
本文简述了中国炼油行业发展现状及特点，分析了炼油行业发展的机遇和挑战，探讨了炼油行业发展对技术需求建议。
污水回用是指对达标外排污水进行再处理,进一步降低污染物浓度得到再生水;并解决再生水物浓度得到再生水;并解决再生水在使用中出现的技术问题,从而实现污水再利用的过程.
介绍了逆流连续重整工艺，催化剂逆流输送，优化了反应条件，有利于提高产品收率和延长催化剂寿命，反应器为单个并列布置，上进上出，物流分布更加均匀。料斗与反应器一体结构，结构简单，制
探讨了零碱渣排放的液化气深度脱硫技术(LDS)的开发与工业应用，本技术集成优化了纤维膜抽提脱硫-超重力法碱液循环再生工艺，流程简单，能耗、物耗低，能兼顾碱渣减排和汽油质量升级
碳捕集，从本质上说是二氧化碳的气体的分离过程。根据分离原理的不同:可分为吸收法、吸附法、膜分离法等多种。
建筑工业化和装配式建筑的呼声越来越高，全国各地推广预制技术的热度还在不断增加，从各地反馈的产业化试点示范工程和工厂运营的信息来看，实施过程存在问题很多，实际效果很差，严重
采用离子辅助/中频磁控反应溅射工艺进行氧化硅、氮化硅、氧化铌薄膜材料的沉积实验,探讨溅射工作条件和工艺参数对于膜层材料的加工效率、反应充分性的影响.