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报道了一种弱相干激光干涉测温方法，以1.3 μm InGaAsP半导体激光为微探针，实时测量了功率晶体管内部结点的瞬态热特性，该方法具有响应速度快、完全非侵入性、空间分辨率高、测温范围广等优点，适合于测试Si、GaAs、InP等材料的功率电子和光电子器件的瞬态热特性.
功率器件瞬态热特性的激光探针无损测试
【摘 要】
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报道了一种弱相干激光干涉测温方法，以1.3 μm InGaAsP半导体激光为微探针，实时测量了功率晶体管内部结点的瞬态热特性，该方法具有响应速度快、完全非侵入性、空间分辨率高
【机 构】
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武汉华中理工大学光电子系 430074
【出 处】
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“热分析在药物及药用材料中的应用”学术研讨会
【发表日期】
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2009年期
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