【摘 要】
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本文采用能量为300KeV 的氩离子在三种不同的剂量(1×1014 ions cm‐2,5×1014 ions cm‐2,3×1015ions cm‐2)下辐照热解碳,利用TRIM 软件中蒙特卡洛方法模拟计算得出辐
【机 构】
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国科学院上海应用物理研究所201800
【出 处】
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中国物理学会2013年秋季学术会议
论文部分内容阅读
本文采用能量为300KeV 的氩离子在三种不同的剂量(1×1014 ions cm‐2,5×1014 ions cm‐2,3×1015ions cm‐2)下辐照热解碳,利用TRIM 软件中蒙特卡洛方法模拟计算得出辐照损伤随深度变化的分布情况,拉曼表征得出样品表面因辐照产生的缺陷,并得出缺陷随辐照剂量的增加而发生演变的规律,光电子能谱测试得出样品表面sp3/sp2 键的积分比率随着辐照剂量的增加而不断增加,说明了热解碳微结构随着辐照剂量的增加而变得无序化。采用具有可控纳米加工的双束聚焦离子束系统进行截面透射电镜样品的制备,在制备过程中采用离子束诱导沉积铂层来保护具有辐照损伤的样品表面。
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