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超细γ-Fe,2O,3粉体制备气敏半导体膜及其性能
超细γ-Fe,2O,3粉体制备气敏半导体膜及其性能
来源 :首届国际华厦无机固体化学和合成化学研讨会暨第七届全国无机固体化学和合成化学学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zsjbusiniao1
【摘 要】
:
以纳米γ-FeO超细粉体为原料,以SiO溶胶为粘结剂制得了在200~300℃范围对还原性气体有敏感作用的半导体膜,讨论了温度、还原性气体流度以及制作工艺对材料导电性的影响,结果表明
【作 者】
:
陈永熙
郭丽萍
巫辉
魏连启
【机 构】
:
武汉工业大学材料学院(武汉)
【出 处】
:
首届国际华厦无机固体化学和合成化学研讨会暨第七届全国无机固体化学和合成化学学术讨论会
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
γ-FeOO的知识脉络'>
气敏元件
半导体
膜制备技术
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以纳米γ-Fe<,2>O<,3>超细粉体为原料,以SiO<,2>溶胶为粘结剂制得了在200~300℃范围对还原性气体有敏感作用的半导体膜,讨论了温度、还原性气体流度以及制作工艺对材料导电性的影响,结果表明原料的超微细化有利于改善半导体材料的性能。
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