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采用３５ｋｅＶ氖离子轰击ＤＬＣ／Ｍｏ／ＧＣｒ１５钢界面，通过界面上原子动态混合以改变薄膜与衬底间的界面相结构和成分分布，显著地提高了ＤＬＣ膜和ＧＣｒ１５钢基面的结合力，增强了ＤＬＣ膜的抗摩擦磨损性能。
界面设计对增强类金刚石碳膜抗磨损性能的影响
【摘 要】
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采用３５ｋｅＶ氖离子轰击ＤＬＣ／Ｍｏ／ＧＣｒ１５钢界面，通过界面上原子动态混合以改变薄膜与衬底间的界面相结构和成分分布，显著地提高了ＤＬＣ膜和ＧＣｒ１５钢基面的结合力，增强了ＤＬＣ膜的抗摩擦磨损性能。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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’94秋季中国材料研讨会
【发表日期】
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1994年期
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