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钴基铁磁材料因其具有巨磁阻效应、磁有序、金属-绝缘体相变和低温下热电势大的物理性能而被广泛应用于磁数据存储、氧化催化剂、燃料电池阴极和气体传感器等方面.研究发现:钴基铁磁薄膜材料的物理性能(如,电学和磁学性能)和显微结构与薄膜的生长条件(如,气压和温度等)密切相关.本文利用电子显微术中的衍衬技术、选区电子衍射(SAED)、X射线能谱(EDS)和高角环形暗场像(HAADF)等方法,系统地研究了生长温度对(Y,Sr) CoO3-δ (YSCO)薄膜显微结构的影响.