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该文基于半导体氧化物的气体敏感机理，提出对其测试的新原理和方法，通过试验发现，这种动态测试方法不仅能提高半导体氧化物的选择性和稳定性，而且能从混合气体中分辨出特定的气体成分，判断出大致的浓度。用这种方法，同一种气体传感器通过不同的测试手段可以检测不同的气体。
半导体氧化物气体传感器测试新原理与方法的初步研究
【摘 要】
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该文基于半导体氧化物的气体敏感机理，提出对其测试的新原理和方法，通过试验发现，这种动态测试方法不仅能提高半导体氧化物的选择性和稳定性，而且能从混合气体中分辨出特定的气体
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所(合肥)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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