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随着科技的进步，现代干涉测量技术具有量程大、精度高、分辨率高以及操作方便等优点，在各项领域得到了广泛的应用。根据ZYGO干涉仪测量方案构建了一个测量样品面形的实验光路，并对一系列样品进行测量，通过对标准镜与被测样品表面之间所夹空气层的干涉图像分析，可以得到被测样品的表面面形状况，并可以通过MetroPro软件直接读取波峰波谷值PV、均方值rms、矢高Power、干涉条纹图、截面面形高度图、面形厚度假色图等，测量精度达到仪器指标。本文研究测量原理，扩展ZYGO干涉仪对测量薄膜厚度和曲率半径的应用。