61单元音圈电机变形镜波前拟合能力分析

来源 :第十届全国激光技术与光电子学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Michael_Wong
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  变形镜作为自适应光学系统的核心器件,波前拟合能力是其主要性能参数.首先,设计了三角形、正方形、环形3 种驱动器排布方案,采用Ansys 建模提取了驱动器影响函数.随后,对比仿真分析了设计方案对低阶基元像差及其1000 帧组合像差的拟合能力.结果表明:环形排布为非接触、力驱动器的最佳排布方案,对组合像差的拟合残差均方根值平均值为0.016 μm;环形排布变形镜对离焦和像散峰谷值分别大于30 μm 和15 μm 时均有很好的拟合能力.
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