垂直記錄媒體使用之附著層靶材CrTi開發

• 作 者: 賴彥棻;陳琨明;侯尚傑;
• 机 构: 光洋應用材料科技(股)公司研發處
• 出 处: 2011全国粉末冶金学术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会
• 发表日期: 2011年期

由於现今垂直磁记录媒体的碟片中所使用之常用基板为玻璃基板，而玻璃基板(glass substrate)舆FeCo台金之软磁层(soft under layer)之间附着性不佳,因此本实验开发之靶材为用於提升玻璃基板与软磁层间附着力之附着层(adhesion layer)靶材CrTi。本文中主要在探讨使用热压(HP)与热均压(HIP)所制造之靶材异同，并亦探讨使用不同型态原始粉末所产生之差异。实验中以SEM分析不同制程之靶材微结构，以HCP分析靶材纯度及气体含量，并以XRD鉴定其相组成，最後再以溅镀机测试靶材镀膜时之行为表现。由实验结果显示使用热均压(HIP))制程并搭配平均粒径小於200um之Ti粉末与Cr粉末可得机械性质与溅镀行为较佳之靶材。