重掺硅中氧的测定

• 作 者: 刘培东 浙江浙大海纳科技股份公司(杭州) 应啸 黄笑容 李立本 阙端麟
• 机 构: 浙江大学硅材料科学国家重点实验室(杭州)
• 出 处: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
• 发表日期: 2001年期
• 关键词: 硅中氧 测定结果 重掺硅 样品处理 付立叶变换 线性关系 实验 结果转换 参数选择 重掺锑 氧浓度 红外法 分析法 测氧仪 制取 熔化 单晶 测试

本文研究重掺硅中氧的测定,实验首先选用轻掺(ρ＞10Ω·CM)样品分别用氧体熔化分析法(GFA法,LECO RO-416测氧仪)和付立叶变换红外法(FTIR法,Nicolet410)测氧,而后用GFA法测定了重掺锑、砷、硼单晶的氧浓度.实验发现用GFA法和FTIR法测氧,二者的结果成很好的线性关系,为便于比较可将重掺硅在GFA法下的测定结果转换为FTIR法下的测定结果,文章还对影响GFA测定结果的样品制取、样品处理、测试参数选择等方面进行了探讨.