【摘 要】
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从2007年到2011年短短的4年时间,MEMS技术取得了飞速发展,从早期较的打印机喷头、FBAR滤波器、压力传感器、加速度传感器等少数MEMS产品,已经发展到麦克风、磁强计、陀螺
【出 处】
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第十届中国国际半导体博览会暨高峰论坛
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从2007年到2011年短短的4年时间,MEMS技术取得了飞速发展,从早期较的打印机喷头、FBAR滤波器、压力传感器、加速度传感器等少数MEMS产品,已经发展到麦克风、磁强计、陀螺仪、非制冷红外探测器、振荡器等新型产品,同时,MEMS运动传感器从单纯的3自由度加速度传感器发展到6自由度加速度传感器和陀螺再到现在的9自由度加速度传感器加陀螺加磁强计；而价格大幅度下降,3自由度加速度传感器的价格已下降到0.5美元.推动MEMS市场强劲增长的主要是对智能化的需求,过去是汽车,现在是智能手机和平板电脑,未来将会是医疗、工业和物联网应用.
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