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本文主要研究了微RIM（RIM小于10um）的厚GEM（THGEM ）探测器性能，对有效面积为5cm×5cm的3种不同孔径、不同厚度和不同单元尺寸的微RIM厚GEM探测器的气体放大增益、Fe55源能量分辨和稳定性进行了研究。单层微RIM厚GEM探测器的气体放大增益达到了5×103，双层厚GEM探测器的气体放大增益达到了2×105，最佳的能量分辨达到了18％，并且能长时间稳定工作。